| 1. Equipment |
| - 반도체전기특성분석기(Semiconductor characterization system) |
| Hardware Requirement Specification | |||
| NO | ITEM | NNFC Requirment | Remark |
| 용도 및 특징 |
반도체전기특성분석기(Semiconductor characterization system)은 소스 발생 및 측정 장치, AC 임피던스 측정용 커패시턴스-전압 모듈, 펄스 I-V와 파형 포착 및 초단시간 I-V 측정이 가능한 초고속 펄스 측정 장치 등을 하나의 분석 설비로 통합한 형태이며 반도체 재료 연구, 반도체 소자 설계 및 개발 또는 생산을 위해 연구자가 필요로 하는 핵심 파라미터를 분석하는데 필수적이다. | YES | |
| 또한, 복잡한 수식에 기반한 전기특성 측정을 위한 필수 입력 값들을 자동으로 계산하며, 적절한 지표들을 실시간으로 그래프로 그려주어 효율적인 분석 환경을 제공해준다. | YES | ||
| 기술 사항 |
1. 파라미터 분석기 본체 (1개) | ||
| 1) FHD 급 해상도의 터치 스크린. 2) 직관적인 사용자 환경으로 편리한 기기 특성 파악. 3) 메인 프레임마다 10개의 슬롯으로 구성 가능하고 업그레이드 가능한 측정 모듈 구성 4) 유에스비, 이더넷 인터페이스 및 브이지에이, 시리얼, 비디오 출력 포트, HDMI 5) 특성화 환경은 메인 프레임 환경에서 사용 가능. 6) 키보드, 마우스 조작 및 터치 스크린을 통한 직관적인 지유아이 기반 작동. 7) 애플리케이션 테스트 모드는 제공되는 수 백개의 사용할 수 있는 애플리케이션을 제공 8) 그래픽 디스플레이 및 분석 기능을 통해 프린트 및 데이터 분석을 지원. 이미지 데이터 또는 엑셀 데이터로 추가 유틸리티 및 지원 보고서 생성 9) 빠른 테스트 모드는 프로그래밍 없이 테스트 시퀀스를 지원. |
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| 2. 중간 동력원 공급 및 측정 장치 (4개) | |||
| 1) 전류 공급 범위 : 100 nA to 100 mA range (최대 전류 100mA) 2) 전류 공급 최소 분해능 : 5 pA at 100 nA range 3) 전류 공급 정확도 : 0.060% reading + 30pA at 100nA range 4) 전류 측정 최소 분해능 : 100 fA at 100 nA range 5) 전류 측정 정확도 : 0.050% reading +30pA at 100nA range 6) 전압 작동 범위 : -200 V to 200 V (최대 전압 210V) 7) 전압 공급 최소 분해능 : 5 μV at 200 mV range 8) 전압 공급 정확도 : 0.02% + 150 μV at 200mV range 9) 전압 측정 최소 분해능 : 1 μV at 200 mV range 10) 전압 측정 정확도 : 0.012% + 100 μV at 200mV range 11) 최대 출력 : 2.2 watts 12) DC 플로팅 전압 : 공통 단자는 새시 그라운드로부터 ±32V 플로팅 |
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| 3. 원격 프리앰플리파이어 모듈 (4개) | |||
| 1) 전류 공급 범위 : 1pA to 10nA range 의 5개 범위 확장 (MPSMU의 전류 범위 확장 모듈) 2) 전류 공급 최소 분해능 : 1.5fA at 1pA range 3) 전류 공급 정확도 : 1.000% + 40fA at 1pA range 4) 전류 측정 최소 분해능 : 100aA at 1pA range 5) 전류 측정 정확도 : 1.000% + 10fA at 1pA range 6) 전압 작동 범위 : -200V to 200V (MPSMU와 동일) 7) 전압 공급 최소 분해능 : 5 μV at 200 mV range 8) 전압 공급 정확도 : 0.02% + 150 μV at 200mV range 9) 전압 측정 최소 분해능 : 1 μV at 200 mV range 10) DC 플로팅 전압 : 공통 단자는 새시 그라운드로부터 ±32V 플로팅 |
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| 4. C-V 측정 장치 | |||
| 1) 커패시터 측정 주파수 범위 : 1kHz ~ 10MHz 2) 커패시터 측정 범위 : 1pF ~ 1µF 3) 주파수 정확도 : ±0.1% 4) 전압 공급 레벨 : 10 mV ~ 1V rms 5) 전압 오프셋 공급 분해능 : 1mV rms 6) 전압 오프셋 공급 정확도 : ±(10.0% + 1 mV rms) 7) DC 전압 공급 레벨 : ±30V 8) DC 전압 공급 정확도 : ±(0.5% + 5.0 mV) 9) DC 전류 : MAX 10 mA |
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| 5. C-V I-V 스위칭 장치 | |||
| 1) 최대 전압 : 210V 2) 최대 전류 : 1A 3) 커패시터 측정 주파수 범위 : 1kHz ~ 10MHz 4) 오프셋 전류 : <1pA 5) 오프셋 전압 : <100µV |
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| 6. 반도체특성 분석 통합 시스템 소프트웨어 | |||
| 7. 기술지원 및 점검 | |||
| 악세서리 | Interlock Cable | ||
| Ultra Low Noise Triax Cable | |||
| Mini Ultra Low Noise Triax Cable | |||
| SMA Cables, male to male | |||
| Female SMA to Male BNC Adapters | |||
| BNC Tee Adapters | |||
| SMU Pass-Thru Modules | |||
