분석평가센터는 재료의 구조와 성분을 벌크에서 원자단위까지 측정, 분석, 해석 지원 가능한 플랫폼 구축 및 서비스 제공을 목표로 구조분석과 표면분석 그리고 제품 및 불량분석(소자분석) 그룹으로 분석서비스 및 분석기술개발을 수행하고 있습니다.
구조분석 그룹에서는 초정밀 시편제작을 비롯하여 미세 나노구조분석, 성분분석, 결정구조, 원자배열분석 및 물질 형성의 동적변화를 인시튜로 분석할 수 있는 장비를 구축하여 분석서비스를 제공하고 있습니다.
주요 장비 보유 : Cs-STEM, in-situ TEM을 포함하여 4대의 TEM과 FIB(4대), SEM(6대) 등
표면분석 그룹에서는 원소성분 및 조성분석, 도펀트 및 극미량 성분분석, 원소의 1D/2D/3D 분포분석, 표면 형상 및 전자기 특성 및 화학결합상태와 분자구조분석 서비스를 제공하고 있습니다.
주요 장비 보유 : M-SIMS(2대), TOF-SIMS, XPS(2대), XRD, APT, AFM(300mm AFM 포함), Raman 및 FT-IR 장비 등
제품분석(소자공정분석) 그룹에서는 반도체 제품에 대한 리버스 엔지니어링을 통하여 첨단제품에 대한 벤치마킹과 특허 분석을 위한 IP 분석 서비스와 제품의 품질향상을 위한 불량제품에 대한 원인을 분석 서비스를 수행하고 있습니다.
주요 장비 보유 : ALIBD, RIE, Wet station, 오토 스테이지 현미경, PCM 등
KOLAS 공인시험기관으로서 역학시험분야, 화학시험분야 및 전기시험분야에서 총 13개 항목으로 국제공인시험성적서 발행서비스를 수행하고 있습니다.
주요 장비 보유 : 역학시험(광학현미경(OM), 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM)), 화학시험(이차이온질량분석기(SIMS)), 전기시험(4-포인트 프로브(4-point probe))