나노 종합기술원은
세계최고의 공정서비스를 제공하여 국가 나노 R&BD 허브가 되겠습니다.
-
04
나노종합기술원 제7대 박흥수 원장 취임
-
03
12인치 반도체 테스트베드 공식서비스 개시 (ArF Immersion Scanner 등 10대)
-
12
연구장비 공동활용 서비스 활성화
(2020년 실적 : 서비스 16,508건, 장비이용 33,228건, 이용기관 618개, 이용자 2,627명) -
07
12인치 반도체 테스트베드 핵심장비 입고(ArF Immersion Scanner+Track) 및 셋업 개시
-
12
국가연구시설 (N-Facility) 지정
-
09
12인치 반도체 테스트베드(1단계) 구축 시작 (2019~2022)
-
09
나노종합기술원 제6대 이조원 원장 취임
-
01
기관고유 인력양성사업 신규 추진
-
10
안전관리 우수연구실 인증
-
08
나노바이오 센서칩 기술 상용화 지원센터 개소
-
11
스마트 센서Fab 구축
-
03
해외연구기관과의 기술협력사업 '최우수 평가'(대전시-나노종합기술원)
-
12
국가연구시설 미래부 장관 표창-실시간 공정 모니터링 시스템
-
12
첨단센서 장비구축 기념식 및 심포지엄 개최
-
05
나노종합기술원 5대 이재영 원장 취임
-
04
나지멤스 장비 수증(35대, 218억원 상당)
-
12
채산성 개선(흑자전환 → 장비재구축적립금)
-
11
한미나노기술공동연구센터 설립
-
07
KOLAS 인증
-
08
대전나노R&BD센터 증축(6층 → 9층)
-
01
미래부 직할출연기관화(정부출연금 신규지원)
-
05
나노종합기술원 4대 이재영 원장 취임
-
01
나노종합기술원으로 명칭 변경
-
11
ISO 9001/14001 인증
-
12
팹서비스 수입 100억 달성(서비스 건수 : 7,879건)
-
03
나노기술전문인력양성센터 지정고시(교육과학기술부)
-
05
사무동 2개층 증축(4층 → 6층)
-
05
180nm CMOS 일괄공정 구축
-
03
세계 최소 3nm FinFET 소자 공동개발(KAIST)
-
03
준공식 및 서비스 개시
-
05
KAIST 부설기관 승격
-
07
나노종합FAB시설구축사업 협약