장비소개
다중물리센서 설계S/W
(Lam Research, Coventorware 11.0)- MEMS 디바이스 설계와 제조공정을 시뮬레이션하고 최적화하여 소재+공정+layout → 3D 구조생성 → 해석
- 파운드리(공정)에 최적화된 소자 설계 → 성능 해석 가능
3차원 가상공정 시뮬레이터
(Lam Research, Semulator3D 7)- 파운드리(공정)에 최적화된 소자 구조 시뮬레이션 툴
- 테스트 전 불확실성 및 예상문제점을 파악하여 비용 및 시간 절감
- 지원분야: DRIE, 패턴의존성 TEST, 패턴의존성 예측