박막(Thin Film)
박막(Thin Film)
12-inch
12인치
기술적 특징
PECVD : TEOS USG, SiH4-Based SiO2, SiNx, SiON, Amophous Carbon Layer
HDPCVD : STI, ILD USG, IMD USG, Passivation USG
공공누리 제4유형
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