확산(Diffusion)
확산(Diffusion)
12-inch
12인치
기술적 특징
Thermal Oxidation & LP Nitride Furnace
Pyro Oxidation, LPCVD Nit Furnace
Single Wafer Clean Process
Pre-Dep & Post-Etch Clean Process(DHF, SC-1, LAL15, DSP)
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