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나노종합기술원

national nanofab center

나노·반도체공정

나노.반도체공정

8인치 Si 기판 공정서비스 개요
  • CMOS 공정 : 180nm CMOS 기술 기반 단위, 모듈, 집적공정 서비스
  • MEMS 공정 : 각종센서 및 μ-OLEDoS용 단위, 모듈, 집적공정 서비스
8인치 투명 기판 공정서비스 개요
  • 투명한 기판인 Quartz, glass, LiNbO3 기반의 CMOS & MEMS 공정서비스
기타 공정서비스 개요
  • 6인치, 4인치 조각 시편 : Zig 활용한 공정서비스
확장 및 응용 공정서비스 개요
  • 상기 기본 서비스를 기반으로 시스템 반도체 연구 개발, 제품개발 및 시제품 제작 지원
    • 예: MEMS sensors on CMOS ROIC(Read-out IC), Micro displays on CMOS ROIC, 차세대 메모리 on CMOS ROIC 등
소·부·장 테스트베드 개요
  • 반도체 소재, 부품, 장비개발을 위한 8인치, 12인치 소·부·장 테스트 베드를 구축하고 반도체용 소재, 부품, 장비산업의 테스트 검증 및 검증 서비스를 국내 산학연 연구자에게 제공