모듈공정
QuartzGlass
투명기판(Quartz, Glass등) 및 압전기판(LiNbO3)의 패턴 공정 기술 capability
기술적 특징
차세대 바이오/헬스케어 진단 및 정밀의료 플랫폼으로 미세유체역학기반의 나노/메디컬 디바이스가 주목을 받고 있다. 이 이유는 혈액, 소변, 땀, 침등 액상의 인체발생검체와 액상시료 내의 샘플을 정교하게 제어하는 기술은 차세대 헬쓰케어 플랫폼으로서 매우 중추적인 역할이 기대되기 때문이다. 이때 필요한 생화학 반응의 미세 농도와 온도제어등의 기본적인 역할을 진행할 수 있는 mixer와 heater등이 나노/메디컬 디바이스의 핵심요소가 되는 공정 기술이기 때문임.
나노메디컬 디바이스의 부품단위 모듈화를 통한 모듈칩 설계/제조/평가 기술을 확보하여 다양한 나노메디컬 디바이스의 연구개발 및 제품 상용화 활용 가능함.
MHz 대역의 Rayleigh 표면탄성파가 높은 점탄성을 갖는 고분자에 인가되면 점탄성 네트워크 간 내부 마찰에 의해 점탄성감쇄가 발생하고, 이로 인해 음향에너지가 열에너지로 변환되어 급속한 체절가열이 발생함. 또한 넓은 공진주파수대역을 갖는 경사진빗살무늬전극을 기반으로 표면탄성파 생성부를 구성하여 마이크로스케일 온도구배 형성이 가능함
IDT(InterDigitized Transducer) 공정 및 소자 개발완료 및 응용완료
기판 crack관련 문제 개선 완료
기판/전극간의 adhesion 문제 완료
기타 모든 공정조건에 따른 crack 문제 해결 완료